唐、宋，名疊溪堡。

清為重要關隘。

道光元年（1821年），建場。

光緒十年（1884年），屬安縣北鄉(xiāng)一甲。

宣統(tǒng)二年（1910年），屬浮泉鄉(xiāng)。

民國十七年（1928年），屬安縣第十六區(qū)。

民國二十四年（1935年），屬安縣一轄區(qū)。

1950年，設鄉(xiāng)。

1952年，劃歸北川縣。

1958年6月，劃歸安縣；同年10月，改為茶坪公社。

1983年，公社改鄉(xiāng)。

2002年8月，改為千佛鎮(zhèn)。

2016年4月，國務院下發(fā)《國務院關于同意四川省調(diào)整綿陽市部分行政區(qū)劃的批復》：同意撤銷安縣，設立綿陽市安州區(qū)，以原安縣的行政區(qū)域為安州區(qū)的行政區(qū)域，千佛鎮(zhèn)改屬安州區(qū)。