1912年后，屬棲霞縣第五區(qū)，區(qū)政府駐臧家莊。

1941年屬棲東行署所轄白洋河和磁南區(qū)，四年后改稱三區(qū)和九區(qū)。

1951年建鄉(xiāng)時，臧家莊、馬陵冢、范家、羅家、東林、蒙家、德林莊、埠后、陡崖、甕留等鄉(xiāng)分屬三、五、十區(qū)。

1952年，原九區(qū)(相當(dāng)今中橋鄉(xiāng))并入三區(qū)，次年編為十三區(qū)。

1956年，撤區(qū)并鄉(xiāng)，稱臧家莊鄉(xiāng)。

自1958年3月至8月，法卷鄉(xiāng)先并于中橋鄉(xiāng)，中橋鄉(xiāng)再并于臧家莊鄉(xiāng)。

9月，成立擁有81個自然村的臧家莊人民公社。

1984年改置臧家莊鎮(zhèn)。

2000年12月19日，撤銷中橋鎮(zhèn)、寨里鎮(zhèn)，將其行政區(qū)域并入臧家莊鎮(zhèn)。

2020年6月30日由棲霞市劃歸福山區(qū)。