據(jù)孟各莊、劉白塔出土文物考證，早在新石器時(shí)代，三河地域已有人類聚居；西周前歸屬，無(wú)文字記載；春秋、戰(zhàn)國(guó)時(shí)屬燕地；秦屬漁陽(yáng)郡；西漢置路縣，三河為幽州漁陽(yáng)郡路縣地。
王莽篡位，改路縣為通路亭；東漢，改“路縣”為“潞縣”，三河地域均隸之；東漢末，為袁紹轄地；三國(guó)，屬于魏；西晉，屬幽州燕國(guó)廣陽(yáng)郡潞縣；東晉十六國(guó)，先后屬于后趙、前燕、前秦、后燕、北魏的幽州漁陽(yáng)郡潞縣；南北朝時(shí)，初為北朝北魏地；梁中大通六年（534）北魏分裂為東、西魏后，屬東魏漁陽(yáng)郡潞縣地；北齊元年（550）后為北齊漁陽(yáng)郡地；隋時(shí)，屬涿郡潞縣地；唐武德二年（619）析幽州置玄州，同時(shí)析玄州潞縣東部地區(qū)置臨泃縣（以縣治瀕臨泃河得名）；唐貞觀元年（627）廢玄州，并入幽州，撤臨泃，復(fù)入潞縣；開(kāi)元四年（716年）再析幽州潞縣東部置三河縣；開(kāi)元十八年（730年），改隸于薊州；五代十國(guó)初，三河屬于后梁；乾化元年（911年）劉守光僭稱燕帝，三河屬燕國(guó)薊州；后唐同光元年（923年）李存勖滅后梁、燕，稱帝，三河隸于后唐薊州；后晉天福元年（936）石敬瑭割燕云十六州賂契丹，三河隨之入契丹，屬薊州尚武軍；遼開(kāi)泰元年（1012）三河屬遼南京道幽都府薊州。
后改幽都府為析津府，三河仍隸于薊州；宣和四年（金天輔六年，1122）農(nóng)歷十二月，金太祖完顏旻攻克遼南京（今北京），三河屬于金；宣和五年，金以燕京（遼稱南京，今北京）6州還宋，三河隨之歸宋；宣和七年，復(fù)為金地；金天德三年（1151），升潞縣為通州，三河隸之；金貞元元年（1153年），金改燕京為中都路，置大興府，三河屬大興府通州；元太祖十年（1215）農(nóng)歷五月克中都（今北京），三河始為元屬地；世祖中統(tǒng)元年（1260），隸于中書(shū)�。恢猎荒曛么蠖悸房偣芨�，三河屬直隸中書(shū)省大都路通州；明，洪武元年（1368）農(nóng)歷八月，改大都路為北平府，十月屬山東行��；二年三月改屬北平；十年省平谷入三河，十三年仍設(shè)平谷；永樂(lè)元年（1403）正月，北平升為北京，改北平府為順天府；十九年正月，明成祖朱棣遷都北京，改北京為京師，三河屬京師順天府通州；清，三河屬直隸省順天府通州，隸通永道；雍正四年（1726）以通永道專司河務(wù)，通州、三河等州縣一并改屬霸昌道；十二年，復(fù)歸通永道；1912年，三河仍屬順天府；1914年屬京兆特別區(qū)；1928年國(guó)民黨中央政府遷都南京，改京兆特別區(qū)為河北省，三河屬之；1935年11月25日殷汝耕在通縣成立偽“冀東防共自治政府”，轄三河、唐山等22縣兩市（注）；1938年至1945年8月間，日本侵略軍在三河建有偽縣政府，隸屬河北省冀東道；1938年7月6日，冀東抗日武裝起義爆發(fā)后，為適應(yīng)抗日戰(zhàn)爭(zhēng)需要，逐步建立起聯(lián)合縣的人民政權(quán)；1940年4月至10月，本縣部分村莊隸屬于薊（縣）平（谷）密（云）聯(lián)合縣三河特別區(qū)；1940年秋，薊（縣）寶（坻）三（河）聯(lián)合縣建立，隸屬于晉察冀邊區(qū)第十三行政督察專員公署（習(xí)稱冀東十三專署）；1942年秋，縣域分屬于平（谷）三（河）密（云）和薊寶三兩個(gè)聯(lián)合縣；1943年底，平三薊（平三密改稱）聯(lián)合縣隸屬于冀熱遼行署第一專署；1945年1月，三河分屬于平三薊聯(lián)合縣和三（河）通（縣）順（義）、三（河）通（縣）香（河）聯(lián)合縣，隸于冀熱遼區(qū)行署第十四專署；1946年1月，各聯(lián)合縣撤銷，三河縣屬冀東區(qū)行署第十四專署；1946年9月5日，國(guó)民黨軍隊(duì)占領(lǐng)三河，其政區(qū)屬河北省通縣專署；1947年春，冀熱遼解放區(qū)改稱冀察熱遼解放區(qū)，劃屬為東北解放區(qū)的一部分；5月1日，冀東區(qū)行政公署正式劃歸東北行政委員會(huì)領(lǐng)導(dǎo)，三河縣仍屬冀東區(qū)行政公署第十四專署；1949年8月1日，三河屬于河北省通縣專區(qū)；1958年4月，撤銷通縣專區(qū)，三河隸于唐山專區(qū)；1958年12月，撤銷三河縣建制，與大廠回族自治縣一同并入薊縣；1960年4月撤銷唐山專區(qū)，所屬各縣劃歸唐山市，同月，改隸天津市；1961年7月，天津市所轄薊縣（含三河）、寶坻等縣劃歸天津?qū)^(qū)；1962年6月，恢復(fù)三河縣建制，仍隸天津?qū)^(qū)；1973年12月，天津地區(qū)改稱廊坊地區(qū)，三河隸屬不變；1989年4月，經(jīng)國(guó)務(wù)院批準(zhǔn)廊坊地區(qū)改為省轄地級(jí)市，三河縣隸之；1993年3月，經(jīng)國(guó)務(wù)院批準(zhǔn)撤縣設(shè)市，為省轄縣級(jí)市，河北省人民政府授權(quán)廊坊市管理；2005年1月，三河市被河北省人民政府列為首批擴(kuò)大管理權(quán)限的縣（市）之一至今。